等离子增强磁控溅射Ti_Si_C_N基纳米复合膜层耐冲蚀性能研究.pdfVIP

第 22 卷 第 1期 中 国 表 面 工 程 Vol.22 No.1 2009 年 02 月 CHINA SURFACE ENGINEERING February 2009 第 1 期 魏荣华：等离子增强磁控溅射 Ti-Si-C-N 基纳米复合膜层耐冲蚀性能研究 1 等离子增强磁控溅射Ti–Si–C–N 基纳米复合膜层耐冲蚀性能研究 魏荣华 (西南研究所，圣安东尼 德克萨斯州 78238-5166 美国) 摘 要：介绍了等离子增强磁控溅射(PEMS)技术，系统研究了其制备的 Ti–Si–C–N 纳米复合膜层。首先讨论该技 术工作原理，并描述了膜层的制备工艺过程。通过 SEM、XRD、EDS、纳米压痕、微米压痕及冲蚀试验等研究了膜 层性能，发现膜层为纳米复合结构，以非晶 SiCxNy 为基质内含 4.7 ～30 nm 的 TiC0.3N0.7 纳米晶。膜层硬度高达 40 GPa ， 同时研究了 Si 含量的影响。膜层表现出的耐冲蚀性比基体材料高 100 倍以上，其韧性对耐冲蚀性影响很大。讨论了 溅射工艺参数对膜层微观组织结构、纳米硬度、附着力及耐冲蚀性方面的影响，同时研究了多层膜层。此类膜层有 望应用于气轮压缩机及固定式涡轮的严重固体颗粒冲蚀(SPE)和液滴浸蚀(LDE)的防护。 关键词：等离子增强磁控溅射；纳米 Ti–SiC–C–N 膜；抗冲蚀 中图分类号：TG174.444, O539 文献标识码：A 文章编号：1007–9289(2009)01–0001–09 Ti–Si–C–N Based Nanocomposite Coatings Produced by Plasma Enhanced Magnetron Sputter Deposition and its Erosion Resistance WEI Rong-hua (Southwest Research Institute, San Antonio, Texas, 78238-5166 USA) Abstract: This paper presents a plasma enhanced magnetron sputtering (PEMS) technology, by which Ti–Si–C–N nanocomposite coatings are systematically studied. The PEMS principle is first discussed. Then the paper describes the tisicn coating preparation process. These coatings were studied using various techniques including SEM, XRD, EDS nanoindentation, microindentation, and erosion testing. The coatings are found to be nanocomposite coatings composed of nanocrystalline TiC N with grain sizes of 4.7 ～30 nm in a matrix of amorphous SiC N . Their hardness ranges up to 40 0.3 0.7 x y GPa. The effect of Si content was also studied. T