真空环境下MEMS推进器芯片内部流动的光学可视化研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 多相流 学术会议论文 编号：086063 真空环境下MEMS 推进器芯片内部流动的 光学可视化研究 岑继文，徐进良 （中科院广州能源研究所，广州 510640） (Tel:020 Email:xujl@ms.giec.ac.cn) 摘要：本文用高速摄影配合显微镜对真空环境下的MEMS 推进器芯片内部流动进行了可视化观测研究， 发现了推进器芯片工作时周期性充液——蒸干的基本流动状态，还发现了爆炸式的沸腾现象和液滴在 微型喷嘴当中的偏射等现象。这些现象对于了解和改进MEMS 推进器芯片工作性能具有良好的促进作 用。 关键词：微型推进器，光学可视化，MEMS，微小卫星，偏射 0 前言 小卫星、微小卫星、纳米卫星、微型深空探测器、超小型航天器是当前宇航技术 发展的新趋势。其特点是：体积小、重量轻、技术含量高、研制周期短、研制费用低（数 千万元人民币）。微小卫星可以进行组网编队飞行，实现单颗大卫星的功能，且制造和发 射成本大为降低，在通讯、科研、气象、资源、导航定位等领域具有广阔的应用前景[1]。 在执行编队飞行等任务中，微小卫星需要保持精确的轨道和姿态运行。由于太阳辐射压 的存在，以及重力场的不均匀性，常使得卫星的轨道和姿态受到扰动[2]。研制高能效的 微型推进器是编队微型小卫星能够成功应用的关键。基于MEMS 技术的微型推进器成本 低、体积小、质量轻、集成度高, 既可以做轨道控制又可以做姿态控制执行器，对其合 理使用还可以减少控制系统的执行部件数量，提高微小卫星的集成度。 由于微尺度下比表面积增大，粘性效应增大等缘故，MEMS 微型推进器芯片内部的 流动显示出与常规尺度推进器不同的特性。本文以真空环境下一个微型推进器芯片内部 的流动作为研究对象，采用高速摄影配合显微镜对芯片内部的流动进行了可视化观测。 发现爆炸式沸腾，微型喷嘴液滴偏射等现象。对于了解MEMS 推进器芯片工作状况和今 后的性能改进起到奠定良好的研究基础。 1 微型推进器芯片的结构及其与管道的连接 采用先进的MEMS加工工艺制作推进器芯片，芯片由一层硅片和一层玻璃片组成。芯 片的尺寸和外观分别如图1、2所示。此芯片可用外径6 mm，内径4 mm的硅胶管连接。将 入口端插入硅胶管中深约3 mm，再用两块不锈钢小夹片和外径为2 mm的螺栓将其夹紧。 *基金项目：中科院装备预先研究项目（61501020301B ）和广州能源研究所所长基金项目（0607C31 ） Nine microchannels Pyrex glass 0 2 1