MEMS生物传感器芯片中信号读出电路设计.pdfVIP

摘要 结合了机械与电子系统的MEMS生物传感器芯片，不但已经成为探测生化物 质的有效工具，而且可以达到较高的探测精度。基于微悬臂梁的MEMS系统可把 对生化物质的识别转化为机械运动，而这种运动一般可以通过光学或者压阻识别 系统反应出来，并最终通过集成电路技术将得到的信号转化为可被人类识别的 量。因此，基于微悬臂梁式的MEMS生物传感器是将微纳米材料技术、生物技术、 微机械技术和微电子技术相结合的一个典范。 本论文旨在研究一种可复用硅压阻悬臂梁固相阵列集成芯片的信号读出电 路，实现传感器信号的读出功能，并在天津大学ASIC设计中心与国家纳米技术 与工程研究院关于开展“用于生化检测的悬浮编码微块的研究”项目背景下实现 传感器对生化物质的探测，其主要工作如下： 利用压阻材料制作成惠斯通电桥，并利用压阻效应将传感器微悬臂梁生成的 机械信号转化为电信号。随后利用CMOS模拟集成电路技术对前端电桥的输出小 信号进行低噪声放大，并设计用于实现模数转换的∑△ADC中的调制器。 本文创新性在于结合悬臂梁静态应力分布及考虑1／隙声、白噪声等，对U型 悬臂梁中电桥的压敏电阻进行了设计。同时，通过分析CMOS电路中各类噪声的 影响，利用Matlab、Cadence等仿真软件对信号读出