磁控溅射沉积纳米结构银薄膜及其表征.pdfVIP

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2017-09-02 发布于重庆
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磁控溅射沉积纳米结构银薄膜及其表征.pdf

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1999 4 43 V CUUM ELECTRONICS 吴　浩　熊玉卿　孙　岩　郭　云　杨得全　达道安 (730000) 1999 3 15 Fabrication and Characterization of Magnetron Sputtered Nanostructured Ag Films Wu Hao Xiong Yuqing Sun Yan Guo Yun Yang Dequan Da Daoan L a borator y of A pp lied S urf ace P hy sics, L anz hou I ns tit ute of P hy sics, Ch inese A cademy of Sp ace Tech nology ,L anz hou 730000 AbstractT he nanostructured g thin films with various particle sizes,ranging from 3 nm to 20 nm, were deposited onto quartz and HOPG substrates by magnetron sputtering method. - The surface morphology and nano particle distribution were investigated using Scanning T un- neling Microscopy (ST M) .T he VU -VIS-NIR spectra of the films revealed that the FWHM of optical absorption peak of nanostructured g film increased with increasing of the size of nanometer g particle while a little red shift occurs when the size of particle changed in the, nano scale. , , , Keywords Nanostructured film Optical absorption ST M Nano g particle ,, (quartz) ( HOPG) (ST M) , 3 nm 20 nm -- (U V-VIS-NIR) : , , [ 13] , g [47] u , g, u , g u , g [ 8, 9] [ 1012] , g , g [ 812] , g