一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究.pdfVIP

2009年 第28卷 第6期 传感器与微系统(T啪sducerandMicrosystemTecllnologies) 1l7 、 前沿技术(} 、 一 种新型MEMS双稳态微 电磁驱动器的研究 张晓鹏，戴旭涵，苗小丹，丁桂甫，赵小林 (上海交通大学 微米／纳米加工技术国家重点实验室 薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海 2Oo24o) 摘 要：介绍了一种新型MEMs双稳态微电磁驱动器，通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的 结构参数进行了优化设计 ，并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功 制作出这种驱动器 ，并对其弹性平台的弹性系数进行了标定，对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明： 此驱动器具有良好的双稳特性，响应时间短(约1Oms)的特点。 关键词：微机电系统；电磁驱动；微电铸；湿法腐蚀 中图分类号：11P212 文献标识码 ：A 文章编号：1o0O一9787(2009)06一Oll7一o4 Study0nnew typeMEMSbi-stableelectr0magnetic aCtUat0r ZHANGXiao·peng，DAIXu—han，MIAO Xia0一dan，DING Gui-fu，ZHAO Xia0-lin (Nati0nalKeyLaborat0ry0fN粕o／MicroFabdcationTechnoJ9 ，KeyLaborat0ryf0lr111linFilm 柚d Micr0fabncation0fEducati0nMiIlistry，ShangllaiJja0toⅡgUIliversity，Shangllai20o24o，China) Abstract：Anew typeMEMSbi—stablee1ectmmagneticacmat0Tispresented．Thepammeters0fthedeviceare 叩timizedbytlleoreticalanalysisandAnsys．Thefeasibilityofthedesignis8lsopr0ved．Thebulksilicon micmmachiningand metal-based sud_acemicr0machining techn0l0gy isused to fabricate thisactuator．The elasticitycoemcient0ftlledeviceismeasured，andsoisthebi-stablechamcteristicoftheMEMSmicm—magIletic actuato]r．Theresultsshow thatthedevicehasg00dped0lnllaJ1ce0fbi—stableactuati0n，andtheresp0nsetimeis short(aboutl0m8)． KeywOrds：MEMS；electmmagneticactuator；micro-electmplating；wetetching O 引 言 造问题，以及如何缩短器件动态响应时间等性能指标。针 基于MEMS技术的光开关、微继电器、射频开关等器 对上述问题，本文研制了一种蕴含磁双稳机制，易于集成化 件对微驱动器的功耗、体积、驱动力、响应时间等都提出了 和模块化的新型微电磁驱动器，加工测试结果表明：在5V 综合的性能要求。目前，国内外制备成功的微驱动器，按驱 驱动脉冲作用下，该驱动器能够实现双稳态切换和保持，切 动原理有静电驱动、电磁驱动、压电驱动、热驱动、形状记忆 换时间约 10ms，为从根本上解决光开关等器件中微电磁驱 合金等多种驱动方式。静电驱动最早投入实用，它的制备