硅基M×N型微环阵列谐振滤波器理论的分析.pdfVIP

第 26 卷 　第 11 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 11 2005 年 11 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S Nov . ,2005 硅基 M ×N 型微环阵列谐振滤波器的理论分析 1 1 , 1 1 2 1 ,2 闫　欣 　马春生 　徐元哲 　王现银 　鄂书林 　张大明 ( 1 吉林大学电子科学与工程学院 , 集成光电子学国家重点联合实验室 , 长春 　1300 12) (2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 , 应用光学国家重点实验室 , 长春 　13002 1) 摘要 : 对硅基 M 行 N 列