国外电子气技术进展及对发展我国特气行业.pdfVIP

r 维普资讯 低温与特气 1992 o4 1 ●综述评论● 国外电子气技术进展及对发展我国 特气行业的建议 梁国仑 Qf{7’ (化工部光明化工薪甍薪 大连 116031) 论述了兆怔缴囊成电路制造对气体的需求 ，ULSI级气体品种及质量标准．国外电子气新品种的开发，电子气的 莲 纯 、 超净 技术．对发展我国特气行业提出了 15条建议． 主题词：鼻＼； 大规模集成电路，输气管道，纯化，进展游乐宁乞节，乞砷 ／ J I 。