多孔阳极氧化铝模板制备及结构表征.pdfVIP

摘 要 Anodic 随着纳米技术的发展，结构可控多孔阳极氧化铝(PAA，Porous Alumina)模板的制备受到了人们的关注。PAA模板具有很多特性，它的制备工 艺简单而且价格低廉，在纳米材料制备方面具有广泛的应用前景。 本文以硫酸、草酸溶液为电解液，采用二次阳极氧化法制备了高度有序的 PAA模板。使用x射线衍射、场发射扫描电子显微镜(FE．SEM)和原子力显微 镜(AFM)对高纯铝箔的晶体结构、PAA模板形貌进行了表征。系统研究了铝 箔预处理、电解液选择、氧化时间、阳极氧化电压、电解液浓度等对PAA模板 结构的影响，对PAA模板的形成机理进行了分析。通过阳极氧化工艺参数的改 孔密度109～1010／cm2范围内可调控的高度有序PAA模板。 实验结果表明：铝箔预处理(如高温退火、电化学抛光)，对制备高度有序 PAA模板起到重要的辅助作用；PAA模板的孔径随阳极氧化电压增加而增大，孔 密度则随阳极氧化电压增大而减小；PAA模板孔径随草酸浓度的增大而增大、 孔间距保持不变：氧化时间主要影响PAA模板的厚度，适当提高氧化时间，在 增加模板厚度的同时，多孔阳极氧化铝模板的有序性进一步提高；一次阳极氧 化溶膜后铝基片上留下的有序凹坑阵列是制备高度有序PAA模板的前提，电场 的不均匀分布和自组织原理可以解释有序孔的形核与生长过程。 以多孔阳极氧化铝模板为基片，采用真空电子束蒸发法在PAA模板上制备 了高度有序Ti02纳米阵列。通过场发射扫描电子显微镜(FE．SEM)对其形貌进行 了表征。研究表明：在不同结构的PAA模板上电子束蒸发Ti02，形成了有序Ti02 纳米阵列。Ti02纳米阵列在平行和垂直于表面方向生长，所形成的Ti02纳米阵 列具有同其基底模板相同的序列结构。改变PAA模板结构和电子束沉积参数可 以调控Ti02纳米阵列的结构。 关键词：多孔阳极氧化铝模板，二次阳极氧化，自组织，电子束蒸发，二氧化 钛，纳米阵列 Abstract Withthe of structurecontrollable of nanotechnology,the preparation development porous anodic hasattracted attention．PAAhas alumina(PAA)templatepeople’S templatemanyfeatures， its is and ofnano·materialshasbroad preparationprocesssimple inexpensivepreparation applicationprospects． The and as inthe sulfuricoxalicacidwasusedelectrolyte andthe experimentstwo-step anodizationmethodWas tofabricateordered anodic adopted highly porous structureof aluminumandtheannealedaluminumwascharacterized templates．Thecrystal pure by electron atomforce X-raydiffraction(