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摘 要
Anodic
随着纳米技术的发展,结构可控多孔阳极氧化铝(PAA,Porous
Alumina)模板的制备受到了人们的关注。PAA模板具有很多特性,它的制备工
艺简单而且价格低廉,在纳米材料制备方面具有广泛的应用前景。
本文以硫酸、草酸溶液为电解液,采用二次阳极氧化法制备了高度有序的
PAA模板。使用x射线衍射、场发射扫描电子显微镜(FE.SEM)和原子力显微
镜(AFM)对高纯铝箔的晶体结构、PAA模板形貌进行了表征。系统研究了铝
箔预处理、电解液选择、氧化时间、阳极氧化电压、电解液浓度等对PAA模板
结构的影响,对PAA模板的形成机理进行了分析。通过阳极氧化工艺参数的改
孔密度109~1010/cm2范围内可调控的高度有序PAA模板。
实验结果表明:铝箔预处理(如高温退火、电化学抛光),对制备高度有序
PAA模板起到重要的辅助作用;PAA模板的孔径随阳极氧化电压增加而增大,孔
密度则随阳极氧化电压增大而减小;PAA模板孔径随草酸浓度的增大而增大、
孔间距保持不变:氧化时间主要影响PAA模板的厚度,适当提高氧化时间,在
增加模板厚度的同时,多孔阳极氧化铝模板的有序性进一步提高;一次阳极氧
化溶膜后铝基片上留下的有序凹坑阵列是制备高度有序PAA模板的前提,电场
的不均匀分布和自组织原理可以解释有序孔的形核与生长过程。
以多孔阳极氧化铝模板为基片,采用真空电子束蒸发法在PAA模板上制备
了高度有序Ti02纳米阵列。通过场发射扫描电子显微镜(FE.SEM)对其形貌进行
了表征。研究表明:在不同结构的PAA模板上电子束蒸发Ti02,形成了有序Ti02
纳米阵列。Ti02纳米阵列在平行和垂直于表面方向生长,所形成的Ti02纳米阵
列具有同其基底模板相同的序列结构。改变PAA模板结构和电子束沉积参数可
以调控Ti02纳米阵列的结构。
关键词:多孔阳极氧化铝模板,二次阳极氧化,自组织,电子束蒸发,二氧化
钛,纳米阵列
Abstract
Withthe of structurecontrollable of
nanotechnology,the preparation
development porous
anodic hasattracted attention.PAAhas
alumina(PAA)templatepeople’S templatemanyfeatures,
its is and ofnano·materialshasbroad
preparationprocesssimple inexpensivepreparation
applicationprospects.
The and as inthe
sulfuricoxalicacidwasusedelectrolyte andthe
experimentstwo-step
anodizationmethodWas tofabricateordered anodic
adopted highly porous
structureof aluminumandtheannealedaluminumwascharacterized
templates.Thecrystal pure by
electron atomforce
X-raydiffraction(
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