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大功率IGBT 器件声学失效分析
——德国凯斯安 KSI v4- 系列超声波扫描显微镜
IGBT器件光学图像 大功率器件反面照片
建立在严苛军用标准之上的德国凯斯安（KSI）超声波扫描显微镜系统，能对电子
器件从5兆赫兹~2000兆赫兹声学无损检测。最新一代v4-系列多用途全功能型声学
分析系统，已经陆续装备到航空航天、科研院所、大型后封装代工企业中。
它能检测到裂痕、材料瑕疵、包裹的异物、分层、空洞等缺陷，并可视化显示到屏
幕上或保存成各种图像格式，以对失效成因和后续的工艺改进提供强力支撑。
IGBT器件超声波扫描显微镜测试图像（整体）
声学图像局部放大图
白色区域是烧结面（交界面）空洞或分层缺陷.
黑色的点和区域是上层空洞投下来的阴影
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