X射线光电子能谱在材料研究中应用.pdfVIP

维普资讯 6}5．f(i) I 第 1卷 第 1期 分析测试技术与仪器 Volume1Numberl 1995年 3月 ANALYSISAND TESTING TECHNOLDGY AND INSTRUMENTS Mar 1995 综 述 f1— 12) ／ P 寸线光 电子能 x射线光电子能谱箸在材料研究中的应用用,／／ 卢炯平 - - - _ ● _ _ _ _ 一 c=)7， fW ashington Research Cc~terW R Grace ＆ Co-Corm 7379Route32Coltnnbia,MD 21044．USA1 弋83 摘 要 针线光 电子能谱 (XPS)在材料科学与工程 的许 多领域 中有着广泛 的肿连 本 文 0 将讨论 XPS：2+-材料研 究的三 个方面的应用，即材料表面改性、 固体 一固体界 面体 系厦材料 与 环境 的相互诈肿。我们将 引用一些具体 的例子来说 明 XPS的应用价值 厦其研 究方 法 所 讨论 的例子将涉厦泉合袖扣氧化袖材料 的表面改一l生、化 学厦物理 气相淀积、拈接 界 面断 裂机制 腐蚀厦摩擦等领域 。 关键词 XPS．村料研窆．表面改一陛， 固一固界面，材料与环境 的相互作用 ● 。 。 … ‘·_ _ - _ ’ ～ ·_ - _ ‘。。 - 一 1 引 言 在许多技术领域，如 电子、光学、冶金，化工及医学等，材料研究 占有不可缺少的重 要地位。在材料制备及使用的过程 中，常有化学变化在材料的表面区域发生。因此，材料 科学与工程的许多领域都包含对材料的表面化学研究 作为晟常用的表面表征技术之一的 XPS、在材料研究中有着广泛的应用 XPS测试能够提供对材料研究非常有用的丰富信息 它可用来检测固体材料表面及 体相 (通过合适的取样方法)所存在的化学元素 除了氢和氦，所有元素都可通过 XPS来 检测。在大部分情况下，XPS所提供的定一性分析结果是 明确可靠的 xPs还是一种很有用 的半定量分析技术 在材料研究中，由XPS测量所得的化学组成对建立组份 一过程 一性 能的关系非常有价值 通过对电子结合能及俄歇参数的分析，XPS实验可提供材料中元素 的化学价态信息，这对于研究材料的化学性能及其变化是非常有效的。正是 由于XPS含有 化学信息，它也通常被称为化学分析电子能谱 (ElectronSp~troscopyforChemicalAnalys~s． ESCA)tZ]o 近年来，由于仪器方面的不断发展，许多 以前不容易得到的信息可 以较容易地用新一 代的光电子能谱仪来测量，所以XPS的用途也就越来越广了 XPS能谱中的价带区信号一 般很微弱 (通常只有内层电子光