Si过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性影响.pdfVIP

第2 8卷第4 期 苏州大学学报( 自然科学版) V01．2 8 No．4 2012年10 月 J OURNAL OF SOOCHOWUNI VERSI TY( NATURAL SCI ENCE EDI TI ON) Oc t ，2 012 Si 过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响 杨亦赏1，江 舸2 ，周 杨1，江美福1 ( 1 ．苏州大学物理科学与技术学院，江苏苏州2 15006 ；2 ．四川大学物理科学与技术学院，四川成都6 10065) 摘要 ：研究了不锈钢基片上 i 过渡层对F ·DLC薄膜附着特性的影响 ．采用反应磁控溅射法，以Ar 为源气 体，在3 16L不锈钢基片制备了 i 薄层，并在 i 薄层上沉积了F．DLC薄膜，通过划痕实验测试了各个样品的 膜 ／基结合强度 ．结果表 明，引入 i 过渡层可 以明显增强氟化类金刚石薄膜和不锈钢基片之间的结合强度 ，在 200 W下制备的 i 过渡层上，F- DLC薄膜的结合强度最佳．根据薄膜表面形貌的扫描 电镜观察、晶粒尺寸的分 析 以及薄膜键结构的红外光谱、拉曼光谱分析，F—DLC薄膜的结合强度与 i —c 键等基 团的形成、含量 以及 i 的键入方式有关． 关键词：磁控溅射； i 过渡层；氟化类金刚石薄膜 ；结合强度 中图分类号：0484 文献标志码 ：A 文章编号：1000—2073( 2012104—00 51—07 Adhe i on of f l uor i nat ed di amond- l i ke c ar bon f i l m wi t h a i l i con i nt er l ayer Yang Yi ha n9 1，Ji ang Ge2 ，Zhou Yan9 1，J i ang Mei f ul ( 1 ．Schoo l of Phy i ca l Sci enc e＆Te chnol ogy ，Soochow Uni v ．，Suzhou 2150 06，Ch i n a ； 2．Scho ol o f Phy i cal Sci en ce ＆Te chn ol ogy。Si c hu an Uni v ．，Che ngdu 6 10065 ，Chi na) Ab t r a c t ：I n t hi pa per ，t h e adh e i on of f l uor i nat ed di amond ．1i k e ca r bon f i l m wi t h a i l i con i nt er - l ayer wa t udi ed．Th e i l i con i nt er l ayer f i l m wer e gr own On 316L t a i nl e t ee l i n di f f er ent i nput p ower by r adi o f r equen cy r e act i ve magnet r on put t er i ng wi t h ar gon( Ar ) a our ce ga ，and t he f l uor i nat ed di amond—l i k e ca r bon f i l m ( F- DLC) wer e pr epa r e d on t