镁合金表面磁控溅射沉积铝膜力学性能.pdfVIP

第30卷第12期 北 京 科 技 大 学 学 报 VOI．30N0．12 2008年12月 Journalof ofScienceand Dec．2008 University TechnologyBeijing 镁合金表面磁控溅射沉积铝膜的力学性能 张 津1，2’ 杨栋华1’ 王东亚1’ 欧信兵1’ 王振林1) 1)重庆工学院材料科学与工程学院，重庆4000502)北京科技大学材料科学与工程学院，北京100083 摘要采用直流磁控溅射法在镁合金上沉积铝膜，在高真空下对铝膜进行加热后处理．用X射线衍射仪(XRD)分析膜层为 纯铝多晶态。扫描电子显微镜(SEM)观察铝膜晶粒细小．采用纳米压痕／划痕仪对铝膜的厚度、I临界附着力、硬度和弹性模量 进行了测试，并且用辉光放电光谱仪(GDS)测试了镁合金表面铝膜的成分和性能随薄膜深度的分布．结果表明，铝膜的厚度 随后处理温度的升高而降低。其表面硬度和弹性模量高于镁合金基体并且随深度增加而逐渐降低．铝膜与镁合金基体间存在 一个过渡层．结合良好且表现出一定的弹塑性能，有利于镁合金表面的防护． 关