溶胶-凝胶法制备掺铒光波导放大器.pdf

摘要 掺铒光波导放大器(EDWA)是一种重要的光子学器件，在光通信网络，尤其 是在城域网和局域网光通信系统的发展过程中将起到重要的作用。在诸多制备 EDWA的方法中，溶胶．凝胶法由于其制备工艺简单、处理温度低、掺杂方便、 掺杂均匀性好等特点近年来受到了相当的重视。本论文进行了在硅基板上利用溶 胶．凝胶法制备掺铒二氧化硅薄膜材料的研究；利用湿法刻蚀工艺制作光波导结 构并进而制备出EDWA。 主要结果包括： 1．利用溶胶．凝胶法制备了折射率、厚度分别为1．466，I．468和5-6,urn的掺 膜的表面粗糙度为0．139nm，薄膜的荧光量子效率为30％，表明该薄膜基本满足 制备掺铒光波导的条件。 2．设计了一种新的波导结构。利用BeamPROP软件对信号光和泵浦光在 波导内传输的模场分布进行了模拟，计算了不同波导参数下信号光与泵浦光在波 导芯层内、由掺铒二氧化硅材料制成的衬底层内以及覆盖层内的能量比例。 3．探索了利用溶胶．凝胶法和湿法刻蚀制作EDWA的具体工艺，并成功制 耗为8．82dB，在150mW976nm泵浦光双向泵浦情况下，得到的最大内增益为 5dB，最佳长度在3．3cm左右，最大单位长度增益为1．5dB／cm。 关键词：掺铒光波