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第 一章 引言 3
1.1 非 易失性 半 导体 存 储 器 技 术 的发展 3
1.1.1 M R O M 4
1.1.2 E P R O M 4
1.1.3 E E P R O M 5
1.1.4 F lash M em ory 6
1.2 闪存 的种类及特 点 6
1.2.1 浮 栅 型 闪存 和 电荷 俘 获 型 闪存 7
1.2 .2 叠栅 闪存 和 分栅 闪存 8
1.2 .3 N O R 型 闪存 和 N A N D 型 闪存 9
1.3 本 论 文 的工作 10
第 二 章 分 栅 快 闪存 储 器 介 绍 12
2 .1 器 件 结构 12
2.2 工作 原理 14
2.2.1 分栅器 件 的擦 除模 型介 绍 15
2.2.2 分栅 器 件 的编程 模 型介 绍 17
2 .3 制 造 流 程 2 1
2.4 测 试 流 程 23
第三 章 分栅快 闪存储器 的失效机 理研 究 28
3.1 擦 除失效 28
3.1.1 擦 除硬 失 效 28
3.1.2 弱擦 除失 效
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