两维碰撞加速度传感器及其实用化.pdfVIP

2009拄 仪 表 技 术 与 传 感 器 2009 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement 两维碰撞加速度传感器及其实用化 周 伟，刘 民，姜 伟，李昕欣 (中国科学院上海微系统与信息技术研究所 ，传感技术联合国家重点实验室，上海 200050) 摘要 ：基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁一质量块敏 感结构，在提高灵敏度 的同时拓宽 了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通 电桥，在 500g的量程下，灵敏度达到 0．3mV／g／5V，固有频率 15kHz．传感器贴装在PCB板上，由经济实用的放大电路进行处理，可以实现两维的加速度测 量，电压输出1—4V，带宽500Hz．传感器在车辆运输等实际环境下进行 了试用，性能可靠稳定，具有良好的实用化前 景。 关键词：加速度传感器；压阻；碰撞 ；实