激光微技术发展现状.pdfVIP

塑堂垄!三 誉’菇 澈光微技术的发展现状 ofLaserMicro Development Technology 陈继民 HE京工业大学激光工程研究院，北京100022) Jimin Chen Center ofLaser (National Technology,BeijingUniversityofTechnology，Beijing100022) 瑗 雾 介绍了激光微加工技术的特点，与其它微加工技术相比，激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影 响区域小、高精度与高重复率等优点，既可以通过去除方式，也可以通过材料堆积进行微加工成型。综 述了几种常用的激光微加工技术及其发展趋势，微机电系统(MEMS)技术的进一步成熟，必将带动激光 微技术快速发展。 激光微技术；去除；加成；微成型 withother