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利用表面传导的场发射显示器件研究
沈昱张晓兵雷威‘屈科朱晓波
东南大学电子科学与工程学院南京 210096
1w园seu.edu.ca025
摘要:本文研究了利用表面传导技术的场发射显示器件,提出了一种新型的表面传导发射三
极结构,采用复合式材料作为阴极发射体,提高了发射均匀性,并对其制备工艺与发射性能
进行了讨论。制作过程中采用丝网印刷工艺,降低了成本。测试结果显示,栅极开启电压为
150V左右,此时阳极电流达到0.ImA。该结构制作工艺简单、成本较低、性能优良,有着广
阔的应用前景。
关键词:表面传导电子发射显示(SED)丝网印刷三极结构 复合式材料
Researchoffieldemissiondevice
displayusing
Abstract:Inthis havestudiedtheUSeofsurface.conductioninfield
letter,we technology
emission new oftriodestructurebasedonsurface-conductionemissionis
displaydevice,atype
as
emission fortheuseof materialcathode
uniformityimproved composite emitter,
proposed,the
its andemission discUSsed.Thescreen
preparationprocess performance∽also printing
isusedinour toreduceofthecost.Testresultsshowthat
technology productionprocess,leading
the tum—on isabout150Vwhiletheanodecurrentreaches0.1mA.Thisstructure
gate voltage
holdsthefeatureof costandexcellent a
simpleproductionprocess,low performance,having
broad
applicationprospect.
Electron.emitter
Display(SED),ScreenPrinting,Triode
Keywords:Surface.conduction
material
Structure,composite
1.引言
以半导体制程技术研发出场发射电极元件,开启运用场发射电子作为显示器技术,则是在
理来看,它依靠真空中场致发射的电子轰击阳极面板上的荧光粉而发光,与CRT在显示原理
几乎完全一致,因而FED既具有CRT在亮度、响应速度、视角等方面的优良特性,又具备了
平板显示器件在体积、功耗以及工作电压等方面的优势,有着及其广阔的应用前景伫1。 自
1991年法国LETICHENG公司在第四届国际真空微电子会议上展出一款运用场发射技术制成
277
的显示器成品之后,各国研究人员纷纷投入对场致发射显示器件的研究开发。
虽然FED具备了多方面的优势,但在众多的场致发射阴极方案中,仅Spindt钼锥微尖
口1阵列得到实用,要想使FED进军大屏幕显示领域,无论在技术上还是在成本上均很难控
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