La0.7Ca0.3MnO3%2fYSZ薄膜的掠入射X射线衍射研究.pdfVIP

Lao．，Ca¨MnO。／YSZ薄膜的掠入射X射线衍射研究 施春龙1，谭伟石1，蔡宏灵2，吴小山2，邓开明‘，贾全杰3 1南京理工大学理学院应用物理系，南京，210094 2南京大学固体微结构物理国家重点实验室，南京大学物理系，南京，210093 3中国科学院高能物理研究所，北京，100039 技术测量了LCMO薄膜材料的面内晶格常数，并结合常规X射线衍射研究了这些薄膜样品的 晶格应变及其弛豫情况。研究结果表明，薄膜内不同厚度处的应变是不均匀的，薄膜内不同 厚度处的面内品格常数随着与薄膜．基片界面之间距离的增加而减小，表明具有大的晶格失 配率的LCMO／YSZ薄膜的应变弛豫可能具有独特的机制。 关键词：掠入射X射线衍射，应变弛豫，薄膜 l引言 电阻效应(Colossal 元素，AE为Ca，sr，Ba等碱土元素)也因此而成为凝聚态物理和材料科学领域的前沿研究 课题f2-7】。 从晶体结构的角度看，超人磁电阻效应锰氧化物材料REl-xAE。Mn03都具有钙钛矿结构 单元，钙钛矿结构单元数目及畸变情况与材料的电磁输运性质密切相关。同时，晶格应变和 应力的存在同样可以影响材料的电磁输运性质，薄膜材料中的晶格应变一方面来自于外延膜 和基片之间的晶格失配和热膨胀系数的差异，另一方面，化学掺杂也可引起晶格无序度增加 和晶格应变。对超大磁电阻锰氧化物薄膜的应变及其弛豫程度进行表征并探讨如何通过调制 材料的应变状态来改变材料的电磁输运性质一直是人们研究的一个主要问题，而且也取得了 许多成果，但是有关锰氧化物薄膜中应变弛豫的机制以及应变如何具体影响其物理性能仍然 是一个没有完全研究清楚的问题fs-ill。 本文用90。离轴射频磁控溅射方法【’21将La0 射线衍射技术测量了LCMO薄膜材料的横向品格常数(即面内晶格常数)，并结合常规X 射线衍射研究了这些薄膜样品的品格应变及其弛豫情况，为进一步研究其结构、输运性质和 磁性质之间的相互作用提供了有价值的资料。 2实验 实验靶材用传统的同相反应方法来制备，样品的名义组分为Lao．7Cao3Mn03，以 在1000。C下空气中焙烧Mn02 混合、研磨。900C下空气中热处理12小时：重复包括研磨和1100℃12小时热处理的过程， 直到用X射线衍射方法测量表明已大部分成相为止；将样品于1250℃进一步处理lO小时， 然后用压片机压成所需尺寸的圆柱状样品，于1350℃烧结12小时，以约3_5C／min的降 温速率将样品冷却至室温。La0．7Cao．3Mn03薄膜利用离轴射频磁控溅射方法制备，制备薄膜 的实验参数在文献[13】中有详细描述。 掠入射x射线衍射实验在北京同步辐射实验室的X射线漫散射实验站完成。X射线波长 为1．55345 A，光斑尺寸为0．1mmxlmm，探测器的前接收狭缝0．3ram，衍射线的强度采用NaI 散烁计数器记录。 Dmax-rB12KW转靶X射线衍射仪上进行。实验条件为： 常规X射线衍射实验在Rigaku 狭缝DS=Io，防散射狭缝AS=I。，接收狭缝RS=0．15mm．衍射强度以NaI闪烁计数器记录。 =5．4693A。 3结果与讨论 描的X射线衍射谱。图中的口，--0．340是Lao7Cao．3Mn03薄膜的X射线临界角。首先，从图l 可以看出当掠入射角接近临界角时，(200)衍射峰的强度最大，当掠入射角偏离临界角时， 衍射线强度逐步下降，这可以从实验的几何配置和试样吸收得到解释：(200)面的衍射矢量 位于薄膜面内，掠入射角偏离临界角会导致入射线和衍射线偏离Bragg条件，再加上试样吸 收的影响，从而导致衍射线强度降低：此外，动力学散射增强效应和样品的尺寸效应也是导 致掠入射角接近临界角时具有最大衍射强度的一个原因。其次，当掠入射角发生变化(意味 着x射线在薄膜中的穿透深度发生变化)时，样品的衍射峰也发生移动，衍射峰位置的移动 ．249． 表明发生衍射的衍射面面间距发生了变化。在厚度为500A，]oooA的薄膜样品中也同样观察 到了以上现象。 ∈c_，k尘墨，卜I￡日o