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线性自旋阀传感器研究 白茹1钱正洪”杨昌茂2 l 杭州电子科技大学，浙江杭州310018；z东方微磁科技有限责任公司，湖北宜昌蛳∞3 2 器对恶劣环境的适应性强，并兼具灵敏度高、寿龠长等优点，使其在磁存储嚣、生物传爵、位移和 速率测量等方面得到了广泛庸用。典型的具有巨磁电阻效应的材料结构主要有多层膜结构和自旋阀 结构，其中基于自旋阀结构。的磁传感器由于具有灵戢度高、功耗小、高集成度等优点．因而倍受 关注。 本文研究的巨碰阻自旋阀材料包括钉扎层、被钉扎层，非磁性导电层cu和自由铁碰层四层， 其结构示意圈如图lA所示。其中，钉扎层材料是厚度为25n^的PtMn．被钉扎层材料是 碰阻自旋阀的丁作原理Ⅲ1如下：被钉扎层的磁化方向通过与反铁磁钉扎层的变换耦合作用固定在 纵轴方向 y轴方向 ，而由于非磁性层的隔离作用，自由层的磁矩则可随信号磁场的变化。自由” 地改变方向，从而使自旋阀材料呈现“高阻态”或。低阻态”，磁阻发生变化。其电阻的变化量“R1 随自由层磁化方向的改变而改变，正比于自由层磁化方向与x轴夹角 0 的正弦值。由能量平衡 关系可以推出，JR也因此正比于其感应