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7.3.2 AFM STM不能测量绝缘体表面的形貌。1986年， Gerd Binnig提出AFM的概念。不但可以测量绝缘体表面形貌，还可测量表面原子间的力，测量表面的弹性、塑性、硬度、粘着力、摩擦力等。 1. 原 理 AFM的原理是类似于指针轮廓仪，但采用STM技术。 如图所示是样品表面的势能U和表面力F随表面距离的变化。 若能测量针尖与样品表面之间的原子间力，即可知道它们之间距离的关系，从而测定样品的表面形貌。 * 第 7 章　其他显微分析技术 离子探针分析仪（IMA）（二次离子质谱仪（SIMS）） 俄歇电子能谱仪(AES) X射线光电子谱仪（XPS） 扫描隧道显微镜（STM） 原子力显微镜（AFM） 场离子显微镜（FIM） 原子探针（AP） 7.1 离子探针显微分析 离子探针仪是利用电子光学方法把惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击样品表面，使之激发和溅射二次离子，经过加速并进行质谱分析。 不同元素的离子具有不同的荷质比e/m，据此可描出离子探针的质谱曲线，因此，离子探针可进行微区成分分析。 分析区域可降低到1-2um直径和5nm的深度，大大改善表面了表面成分分析的功能。 离子探针是一种微区成分分析仪器。 分析原理： 1. 仪器结构与分析原理 初级离子的产生与聚焦 初级离子与样品的相互作用 二次离子分类、记录