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扁平振动电机驱动的无阀微泵的研究 扁平振动电机驱动的无阀微泵的研究 苏波1，王登伟2 (1．首都师范大学物理系，北京100048；2．中国科学院微电子研究所，北京100029) 摘要：研制了一种新型的电磁驱动式无阀微泵，该微泵利用有机玻璃制作泵腔，采用扩散口／ 喷口的结构，以PDMS作为振动膜，利用扁平振动电机作为驱动部件。对徼泵的振动频率和输出 V一1．8 流量进行了测试，结果显示，电压在1．0 V范围内时，微泵的输出流量随着电压的升高 而增加，当电压在I．8—3．3V时，微泵输出的流量保持稳定，达到150izL／min。本文研制的无 阀微泵结构简单，驱动电压低，具有良好的性能和低廉的成本。 关键词：扁平振动电机；无阀微泵；PDMS振动膜；扩散口／喷口 onValveless DrivedFlatVibrationMotor Study Micropumpby SUB01．W