_射线反散射镀层测厚仪的原理_设计及应用.pdfVIP

会屯会屯 日 。 。 屯 会各 俨 射 线反散射 会 会 会 今令刽 , 衬汤陷会七仑毛令毛 会心宁心 礼 ”” ““” 镀层测厚仪 的原理、 设计及应用 骨 今 今 今心 番 弓 番 今心 大 工 系 刚 组 蓝 克 坚 文 飞 二 清华 学 程物理 《日 厚 》 李书 摘 要 几 百微 米 , 测量 时 间几秒 到几 分 钟 , 有 效 , 本 文介绍 日反散射镀层 测厚仪 的原理 探测 面积为 “ 接触 式 及 一 并给 出了设计仪 器所依据 的计算公式 及定标 弓 “ 非接触式 。 也可测定二元合 金 方 法 , 分析 了其 中各项 参数 的物理意义及影 的百分 含量 比 。 到 了七十年代 随着微计算机 。 响 因素 进 一步讨论 了测量误 差 与实验条件 的引入 , 仪 能 确 给 出测量样 品 的 度 日 除 精 厚 。 , 的关系 以及 基体校 正原理 值外 , 还具备 了误差计算和 统计功能 , 仪 器 进而介绍仪器 的设计思想 及仪 器 的主要 精度可达 。 在航 天工业 及 电子工业部 门 、 指标和 原理框 图 最 后举例 说 明其用途 以期 获得 了广泛 的应 用 。 推广 应用这一测量技术 。 由于 射 反散射 的强弱 与 质 的原子 日 线 物 、 一 概 述 序数 成正 比, 所 以这种 测量方 法亦有 其局 。 近年来 随着工程技术 的迅速发展