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2017-08-31 发布于安徽
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基于吸收系数修正硅片激光弯曲模拟与实验.pdf

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第16卷第10期光学精密工程 V01．16No．10 andPrecision 2008年lO月 Optics Engineering ()ct．2008 08 文章编号 1004—924X(2008)10一1928 基于吸收系数修正的硅片激光弯曲模拟与实验王续跃，胡亚峰，许卫星，吴东江 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116024) 摘要：考虑热吸收系数随温度变化的因素，以硅为对象进行r激光弯曲模拟和实验。借助API)I．语言编写了激光弯曲成形的仿真程序，对单脉冲作用过程进行模拟．以得到单点脉冲周期内的温度分布；采用NiCr／NiSi合金薄膜热电偶对单脉冲作用过程中的温度分布进行测量，对比上述的温度模拟与测量结果，修正硅材料的激光综合吸收系数为0．82。采用有限元分析软件实现了硅片的脉冲激光弯曲成形的仿真和模拟，并对硅片多次连续扫描的弯曲模拟与弯曲实验进行对比，误差仅为0．1。，验证了仿真程序的有效性，为硅片的激光弯曲成形提供了理论与实验依据。关键词：激光弯曲；吸收系数；脉冲激光；硅片中图分类号：TN249；TN305文献标识码：A Modificationofsilicon coefficientinlaser absorbing bending WANG Xu—yue，HUYa—feng。XUWei—xing，WUDongjiang PrP(、isionandNon—traditional 0，。拍P (KeyLaboratoryfor Ma(’hining TP(’hnologyMinistryo／’ Education，Dalian 7z 116024，China) University 0厂Tee’hnolog’Y，Dalia thermal factors with Abstract：Byconsidering laser ex— absorptionchangedtemperature。thebending andsimulationswereconducteda silicon periments material．Thelaser simulation using bending pro— waswrittenAPDI。tosimulate gram the action toobtainthe by singlepointpulse process variationonaction in point time．AnNiCr／NiSithinfilm was to cycle alloy thermocoupleapplied measure distributionof action the