纳米级二氧化锆制备和应用.pdfVIP

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2017-08-31 发布于安徽
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纳米级二氧化锆制备和应用.pdf

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32 1 Vol . 32 No . 1 2003 2 Applied Chemical I ndust y Fed. 2003 ¸ 漆小龙, 邓淑华, 黄慧民, 周立清, 温立哲, 余双平 ( , 510090) : , , : ; ; : O 61214 : A : 167 1- 3206( 2003) 01- 0005- 07 , ( 1 nm ~ 100 nm) , 1. 1. 2 化学气相合成法( CV S) [ 4 , 5] CV S , , , 99. 99% , 1B10, 1 kP a, , 1 000 e , , , Z O2 , [ 1] [ 2] , , , , , , , [ 4] Vladimi CV S 5 nm Z O2 [ 6] 1. 1. 3 化学气相沉积法 CVD 1 ( ~ 300 e , 5 h, 101133 kPa) , Z O , Z O 2 2 1. 1 , , , , , , , , CV D [ 3] 1. 1. 1 气体中蒸发法 , : Z Cl4 + O2 y Z O2+ Cl2 ¸ : 2002- 10- 14 : ( 0000028) ; ( 2000034) ; ( 200111) : ( 1975- ) , , , , : ( 020) E- mail: q