功能梯度薄膜的脉冲激光沉积研究进展.pdfVIP

( ) 10 　　《激光杂志》2004 年第 25 卷第 5 期 　　　　LASER JOURNAL Vol. 25. No. 5. 2004 功能梯度薄膜的脉冲激光沉积研究进展 1 1 ,2 1 1 何建平 ,江 　超 ,胡少六 ,王又青 ( 1. 华中科技大学激光技术国家重点实验室 ,武汉 　430074 ;2. 湖北师范学院物理系 ,湖北黄石 　435002) 提要 :介绍了功能梯度薄膜材料的特点和应用 ; 比较了功能梯度薄膜常用制备方法;概括了功能梯度薄膜制备中的掺杂技术并给出了脉 　　 冲激光沉积功能梯度薄膜的模型 ;论述了脉冲激光沉积技术在制备功能梯度薄膜材料方面的应用与最新进展。 关键词 :功能梯度薄膜 ;掺杂技术 ;脉冲激光沉积 中图分类号 :O484. 1