集成薄膜晶体管液晶空间光调制器光调制特性实验的研究.pdfVIP

第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ! ! # 9,0:! ;,:# ! ! ! ! ! 年 月 ! !# $ %’()*)+,-.(/0,12’-’4%.*6/0*/(47’*0/* =6 !# 3 5 8 5 文章编号 # $ $?@!?A !##@D$!@# 集成薄膜晶体管液晶空间光 调制器光调制特性的实验研究 徐 鹏!王玉荣 ! #山东大学 信息科学与工程学院 光学工程系!山东 济南 ! $ ! !#$ E@F/’0G- )( !*4-)4-=( 8 I 摘 要!提出一种测量液晶空间光调制器# ! $光 0’-’4=.*6/0*/6’/00’6F,4-0/6,.2%K2M ! 3 5 8 I 调制特性#振幅调制特性和相位调制特性$的新方法%采用 干涉仪光路!在其 M/=@d)(4). 中一臂中引入 成像系统!把 放置在 系统的输入面上作为图像输入器件!用位于 D1 2%K2M D1 系统输出面上的高性能 记录输出图像或输出图像与参考光的干涉条纹%根据输出图 D1 %%7 像的强度和强度均匀性测量 2%K2M 的振幅调制特性根据干涉条纹分布测量 2%K2M 的相 位调制特性%与已有方法相比!该方法不仅可测量 2%K2M 的振幅和相位调制特性曲线!还 可测量器件单个像元上的振幅和相位调制特性%文中以一种薄膜晶体管扭曲向列型 2%K@ 2M 为例!测量了其振幅调制响应曲线’振幅调制均匀性和相位调制均匀性!实验结果证明了 该方法的正确性和实用性% 关 键 词!液晶空间光调制器振幅调制相位调制干涉测量 ! ! 中图分类号! 文献标识码! R;$D$:P N ! ! ! 干涉法装置复杂’数据处理量大%本文提出一种 $ 引 言 ! !! 测量 2%K2M 光调制特性的新方法!采用 M/=@ 空间光调制器# ! $ 干涉仪光路!根据输出图像的强度和强 */6’/00’6F,4-0/6,.K2M 8 I