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- 2017-08-31 发布于广东
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4.2.3 干膜的附着力实验分析
干膜附着力决定了干膜所能制作的最小线宽,也是干膜性能的一个重要指标。
与分辨率一样,附着力主要也受干膜厚度和曝光级数的影响。FX930(抗蚀层厚度
30µm)和 FX915(抗蚀层厚度 15µm),它们的附着力实验结果见表4-5 。
表 4-5 FX930 和 FX915 的附着力实验结果
曝光级数 4 5 6 7
FX930 附着力 45µm 40µm 36µm 30µm
FX915 附着力 27µm 24µm 20µm 15µm
根据表 4-5 的结果,可以做出 FX930 和 FX915 的曝光级数-附着力关系图,
曲线如图4-4 所示。
FX930 FX915
50
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m 40
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(
力 30
着
附 20
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