Ta_2O_5薄膜制备研究现状及进展.pdfVIP

· · Ta20s薄膜制备的研究现状及进展／陈胜龙等 25 Ta205薄膜制备的研究现状及进展* 陈胜龙，杨建广，高 亮 (中南大学冶金科学与工程学院，长沙410083) 摘要Taz05薄膜具有很好的电学性能和光学性能，制备方法种类繁多，如溶胶一凝胶法(So卜gel)、化学气相沉积 法、电子束蒸发技术、溅射法、Ta层阳极氧化或热氧化法、离子辅助沉积法(IB柚)、原子层沉积法(ALD)等。评述了 现有各种制备方法的优缺点，综述了Taz()s薄膜各种方法制备的条件、薄膜的功能性质等，并评析了金属有机化合物 为前驱体制备性能优良的Ta2Q薄膜的前景。 关键词TazOs薄膜制备方法 RecentSituationand in of Film Ta2Os Preparation Progress CHEN Jianguang，GAO Shenglong，YANG Liang (Schoolof Scienceand South 410083) Metallurgical University．Changsha Engineering，Central Abstract 05films electrics and me- Ta2 possessgood propertiesopticsproperties．Currently，thepreparation thods as and demeritsofthosemethodsare con- areelassified SOon。themeritsand discussed，the sol-gel，CvD，ALD conditionsofthesefabricationmethodsandthe film’S are trolling as-synthesizedproperties of the compoundas tO excellent Ta205filmsisalsointro- prospectusingmetal-organic precursorprepare performance duee woldsTa2饶，thin method Key films，preparation 0引言 1 制备Ta20s薄膜的主要方法 Ta：05薄膜因具有良好的电学性质和光学性质，近年来 1．1溶胶-凝胶法 在光波导材料和介电材料方面得到非常广泛的运用。在光 溶胶一凝胶法是指金属有机或无机化合物经过溶液、溶 波导材料方面，Ta：05薄膜具有透过可见光和近红外光而对胶、凝胶而固化，再经热处理制备成氧化物或其它化合物固 红外光发生发射的光学特点，此外在可见光谱区内，Ta205 体的方法‘“。 材料具有较高的折射率和较低的吸收率，并且具有较宽的光