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飞秒激光微加工技术的评述与展望 黄佑香 ,张庆茂 ,廖健宏 ,周永恒 (华南师范大学 激光加工实验室 ,广东 广州 　510006) 摘要 :综述了飞秒激光微加工技术国内外的研究现状 ,介绍了飞秒激光微加工在光学 、微电子及生物医学等领域 的应用 ,展望了飞秒激光微加工技术未来发展的趋势以及需要解决的关键技术 。 关键词 :飞秒激光 ;应用 ;微加工 ;进展 中图分类号 : TN249; TG665　　文献标识码 :A 　　文章编号 : 2008) Rev iew and prospects of fem tosecond la ser m icroprocessing technology HUAN G You xiang, ZHAN G Q ingm ao, L IAO J ianhong, ZHOU Yongheng (L aboratory of L a ser Proce ssing Techno logy, Sou th Ch ina Norm al U n iversity, Guangzhou Guangdong 5 10006 , Ch ina) A b stract: The recen t p rogre ss of fem to second la ser m icrop roce ssing wa s reviewed, and the app lication s of fem to second la ser m icrop roce ssing were in troduced in som e area s includ ing op tic s, m icroelectron ic s, b iom ed icine and so on. Fu rther more, the developm en t trend s of fem to second la ser m icrop roce ssing and som e key techn ique s wh ich dem and to be so lved were p ro sp ected. Key words: fem to second la ser; app lication s; m icrop roce ssing; developm en t 　　超短 、超强和高聚焦能力是飞秒激光的 3大特点 。 加工的重要应用 ,展望其今后的发展趋势 。 ( - 15 ) [ 1 ] 飞秒激光脉宽可短至 4 fs 1 fs = 10 s 以内 ,峰值 1　国内外飞秒激光微加工技术研 究 ( 15 ) 功率高达拍瓦量级 1 PW = 10 W ,聚焦功率密度达 状况 20 22 2 [ 2 ] 到 10 ～10 W / cm 。飞秒激光可 以将其能量全 11　飞秒激光微加工基础理论的研究 部 、快速 、准确地集中在限定的作用区域 ,实现对玻璃 、 飞秒激光加工机理的研究、试验大多是探索性的 , 陶瓷 、半导体 、塑料 、聚合物 、树脂等材料的微纳尺寸加 多与长脉冲情形相比较而确定飞秒激光的烧蚀特性 , 工 ,具有其它激光加工无法比拟的优势 : ①耗能低 ,无 在一定程度上解释了飞秒激光与物质相互作用的物理 热熔区 , “冷 ”加工 ; ②可加工的材料广泛 :从金属到非 本质 。目前理论研究较系统的材料有金属和透明介 金属再到生物细胞组织