连续试制线上使用PVD新型钢带镀膜技术：加工工艺和镀膜发展(C2002).pdfVIP

连续试制线上使用 PVD 新型钢带镀膜技术：加工工艺和镀膜发展 金属涂层和薄膜国际会议圣地亚哥2002.4 冯·阿登纳公司 摘要：钢铁生产者现在面临着终端用户关于显著增强钢板的防腐蚀和增加钢板复杂的表面功能性质方面日 益增加的需求。自这种趋势变得越来越明显时，仅使用传统连续钢带镀膜工艺（如热浸镀或电镀锌）就不能满 足这些需求了，这时就可考虑选择其它的镀膜工艺，如PVD等。 基于常规镀锌钢带PVD镀膜的新型高度抗腐蚀锌合金镀膜，已经开发出试验规模的样机。在本文中，报道 已成功把这种技术升级到具有速率为60m/min 的带宽为300mm的连续试验型生产线的情况。这条试验型生产线 的PVD技术包括了不同的等离子体清洗工艺，利用辐射加热的热蒸发和电子束蒸发。将给出利用在已经常规镀 锌的钢带上蒸发各种金属附加膜层的最新进展。 前言：表面镀膜钢板属于主要材料，其具有广泛的应用，尤其在汽车、建筑和家用器具等工业。目前，钢 铁制造商面临用户对钢板复杂轮廓的日益增加的需求。除了有效的改善防腐蚀的工艺外，诸如成型、连接和上 漆等工艺也是必要的。此外，装饰用的最终面貌如颜色和结构以及表面性能（如抗刮伤或者抗指纹性能）变得 日益重要。 尤其在关于钢带表面处理的常规基本功能，也就是防腐蚀方面明确地存在着更进一步的挑战：未来镀膜系 统的特殊的防腐蚀技术必须得到充分的发挥，以便与传统系统相比尽可能显著减少整体的镀膜厚度。这需要着 力于开发未来的镀膜钢板材料，这种需要源自各种应用领域的不同趋势，比如使用日益减薄的钢板的小截面钢 结构和防止不必要的资源消耗需求。 现代对钢板防腐蚀概念表征为一种锌或者锌合金和一种或多种不同有机物镀膜的综合。在钢表面损伤时， 锌会阴极保护暴露的钢铁表面并且溶解自身。锌合金的自由电势越低，锌合金的阴极保护作用的效率就越高。 因此，关于优化这些电化学性质的新型锌合金膜的开发是很有潜力的。 人们越来越明显地认识到，完全使用可利用的如热浸镀或者电镀等传统的连续钢带镀膜工艺来设计新型的 锌合金镀膜膜机的可能性是很有限的。从而不得不考虑使用如气相沉积尤其是PVD等镀膜工艺。不管怎样，这 样的工艺升级到一条走带速度达到200m/min并且带宽为1m的连续高速带材镀膜加工线上并且以合理的成本运 行是可行的也是必要的。 本文基本包括两个部分。在第一部分中，将描述一种利用PVD研制的高度抗腐蚀锌合金膜的新型联合方 法。在第二部分中，报道把这种方法成功升级到一条具有镀膜速率达到60m/min和带宽为300mm 的连续试验型 生产线的情况。这种基础工作是升级到工业前的一个中间步骤。 一、发展中的新型锌合金镀膜的联合方法 PVD为新型钢带镀膜系统有意义的发展方法提供了可能。特别是利用电子束蒸发和热喷射蒸发可以获得定 制几μm/s 的很高沉积速率。这些工艺对于连续钢带镀膜在理论上是可行的。与传统镀膜工艺相比，这种PVD工 艺具有关于所应用的镀膜材料的高度灵活性和高度的环境兼容性的优点。 在完全的PVD方法里面，金属化钢板镀膜是全部利用PVD进行的。因此，膜厚在几μm级别的镀膜不得不 用气相沉积。在联合方法中，钢基底已经利用传统的电镀或者热浸镀的锌膜或锌合金膜作了准备。利用PVD ， 薄的附加膜层在膜厚为典型的约为100nm的级别时是适用的。这样，膜层的性质就可以修改，同时也可以提供 附加的功能性质。这种方法提供了把传统镀膜工艺的高效率和上面提及的PVD 的在镀膜设计方面的灵活性联合 起来的优点。 在图1中说明了联合工艺的特定步骤。首先，镀锌钢板要受到一次彻底的溅射刻蚀，以去除与锌膜一起带 来的氧化层。在第二步，附加的薄金属膜择优利用热喷射或者电子束蒸发的PVD方法进行沉积。得到的两个膜 系最终受特定的短期加热退火，退火温度通常在250～400 ℃的范围内。这次处理使得在两个膜层间发生充分的 相互扩散作用，这样就形成了一个合金膜层。必须注意的是，热处理要小心调整以避免在膜层和在下面的钢基 底之间发生多余的合金化作用。另一个重要的问题是关于退火的气氛，尤其是氧气的分压，因为在相互扩散作 用完成前应该避免薄的附加膜层大规模表面氧化。 1