基于 RSM 的SiC 单晶片切割过程中切向锯切力与研究.docVIP

基于 RSM 的SiC 单晶片切割过程中切向锯切力的研究 摘要：[1,2]。对于SiC晶体，因材料难以加工，内圆刀片急剧磨损，常规的内圆切割机不能有效地工作，现在广泛采用金刚石线锯——超声复合切割技术[3]。但是在切割工艺参数的优化的研究报道并不是很多。 碳化硅（SiC）晶体很难生长，并且材料价格十分昂贵，同时用于切割碳化硅的金刚石线锯价格很高，且切割碳化硅晶体效率本身不高。考虑到试验时间、费用、试剂以及试验材料消耗等原因，采用多变量设计方法来设计试验方案。常用的多变量试验设计方法是正交设计方法，但是正交设计法有其局限性，不能在给定区域上提供因素和响应值之间的明确函数关系，从而无法确定整个区域上因素的最佳组合和响应值的最优值，此外，正交设计法无法提供因素之间存在的交互影响。鉴于本试验值考虑四个因素且需要确定因素最优值，可以采用响应曲面法（Response Surface Methodogy，RSM）[4]。响应曲面法有中心组合设计法（Central Composite Design，CCD）和Box-Behnken设计法等，非常适合于多变量的试验设计，该方法采用数学和统计学技术，将试验数据用多项式方程拟合，用方差分析评估拟合结果。它能用于分析几个变量可能对结果的影响，优化变量和水平参数，并能给出很好的三维视觉效果图。其以最经济的方式、较少的试验次数和较短的时间对所选的试验参数进行全面的研究，得出正确的结论，它的优越性被许多实验工作者所重视[5]。目前该方法在生物工程领域应用比较广泛，但是在金刚石线锯——超声复合切割方面的研究报道不多。 试验首次采用响应曲面法中的中心组合设计法（Central Composite Design，CCD）对影响SiC切割过程中的切向锯切力的线锯速度，工件进给速度，工件转速，超声波振幅进行试验设计，并对SiC晶体进行切割实验研究和工艺控制参数分析，建立并验证了相关的工艺模型，从而为SiC单晶片的后续加工过程提供良好的表面质量和工艺参数。 2 材料与方法 2.1 材料 黑碳化硅，SiC质量分数95%，比重为3.20—3.25，纤维硬度2840—3320kg/mm2； 金刚石线锯，采用不锈钢钢丝，胎体为镍，上镀JR2型金刚石磨粒，磨粒平均尺寸30—40um，锯丝总长50m，平均直径0.29mm； 冷却液，采用1：5稀释后的乳化液。 2.2 试验装置 试验机床为WXD170型往复金刚石线旋转点切割机所改制的，X轴移动平台行程:180-300mm，进给速度可无级调整在0.005-18mm/min之间，Y轴移动平台行程：180-300mm，旋转速度在0-36r/min之间，可实现金刚石线锯与工件的点接触切割。 超声波发生器，陕西师范大学自主研制的AQ-600超声波发生器。 切向锯切力测量仪，采用北京时代之峰科技有限公司。 2.3 试验设计 采用中心组合设计法（Central Composite Design，CCD），对影响SiC切割过程中的切向锯切力的线线锯速度Vs、工件进给速度Vx、工件转度nw和超声波振幅a 四因素为自变量，根据单因素试验结果，取值范围分别为1.3m/s—1.9m/s，0.025mm/min—0.08mm/min，8r/min—16r/min和0.0012mm—0.0018mm。CCD设计的因素和水平见表1. 自变量 未编码 水平 -1 0 1 线锯速度( m/s) Vs 1.3 1.6 1.9 工件进给速度（mm/min） Vx 0.025 0.05 0.08 工件转速（r/min） nw 8 12 16 超声波振幅（mm） a 0.0012 0.0015 0.0018 表1 试验因素及水平 碳化硅切割过程中的切向锯切力采用三向测力仪来测量，测量十次的平均值用来分析，中心组合设计法设计的试验方案及结果如表2所示： 试验号 线锯速度Vs( m/s) 工件进给速度Vx（mm/min） 工件转速nw（r/min） 超声波振幅a（mm） 切向力Ft （N） 1 1.3 0.025 8 0.0012 2.80 2 1.9 0.025 8 0.0012 2.45 3 1.3 0.08 8 0.0012 4.9 4 1.9 0.08 8 0.0012 3.95 5 1.3 0.025 16 0.0012 2.5 6 1.9 0.025 16 0.0012 2.12 7 1.3 0.08 16 0.0012 4.5 8 1.9 0.08 16 0.0012 3.94 9 1.3 0.025 8 0.0018 2.41 10 1.9 0.025 8 0.0018 1.98 11 1.3 0.08 8 0.0018 4.