带能谱分析的电子显微镜在材料分析中的应用.kdh.pdfVIP

带能谱分析的扫描电子显微镜在材料分析中的应用 王英姿 侯宪钦 （济南大学材料科学与工程学院，山东济南$%$$ ） 摘 要：简要分析了扫描电子显微镜和! 射线能量色散谱分析的原理及特点，概述了带能谱分析的扫描电 子显微镜的独特优点，然后借助扫描电镜的能谱分析，以难切削加工材料钛合金 （ #$ ）的切削刀具 磨损形貌和探求刀具材料成分组分为例，说明了带能谱分析的扫描电镜在定点成分分析、线扫描和 面扫描方面的应用。最后总结了这种显微镜的应用范围。 关键词：扫描电镜 能谱分析 钛合金 刀具材料 !#$%’$() (* +,- .$’/ ,01 $) -’23$# !)#45$5 ’() *+,-.+ ，/01 2+3,4+, （567889 8: ;3=+39 56+=,6= 3,? @,-+,==+,- ，A+ ’,3, 1,+B=C+D ，A+ ’,3, $%$$ ，E/( ） %’()*+( ：F7= G+,6+G9=C 3,? 67336=C 8: 5@; （C63,,+,- =9=68, H+68C68G= ）3,? 2 I 3D @J2 （=,=-D ?+CG=K C+B= H+683,39DC+C ）3= 3,39D.=? L+=:9D +, 7= G3G= ，3,? 39C8 7= CG=6+39 3?B3,3-=C 8: 5@; M+7 @J2 3= CNHH3+.=? ，7=, M+7 7= 7=9G 8: @J2 8: 5@; 3,? 3O+,- M=3 3GG=33,6= 8: 6N+,- 889 M7+67 M3C NC=? 8 H367+,+,- +3,+NH 3998DC （FEP ）3,? =C=367+,- 7= 68HG8,=, 8: 6N+,- 889 H3=+39 :8 =QK 3HG9=C ，7= 3GG9+63+8,C 8: 5@; M+7 @J2 8, =9=H=, 3,39DC+C 8: CG=6+39 G8+, ，9+,= C63,,+,- 3,? CNK :36= C63,,+,- 3= =QG93+,=?R ’ 93C ，7= G3G= CNHC NG 7= 3,-= 8: 3GG9+63+8,C 8: 7+C 5@; M+7 @J2R ,-./0)1’ ：5@; ；@J2 ；F+3,+NH ’998DC ；EN+,- F889 随着材料、医学、生物等学科的不断发展及计算机 微观形貌的扫描电子图像［T，P ］。 技术的突飞猛进，早期单纯用于拍摄样品试样形貌照 扫描电镜具有场深大、放大倍数范围大 （一般为 片的扫描电子显微镜 （以下简称扫描电镜S 5@; ）和进 $ U $ 倍）、不必经常对焦等特点，对于相组成 行成分测定的2 射线能量色散谱分析仪 （以下简称能 的非均匀材料便于低倍下普通和高倍下放大观察分 谱仪S @J2 ）显得越来越跟不上科学发展的潮流。而将 析。它还具有相当的分辨率，可达$ U V ,H ，所成图像 能谱仪、扫描电镜及计算机技术结合为一体的带能谱 富有立体感、真实感、易于识别和解释。同时它的自由 分析的扫描电镜则会继续在材料、医学、生物等学科领 度大，可对试样作三维移动，试样制作简单，表面无需 域发挥其不可代替的作用。 进行特别处理。 2 扫描电镜的原理和特点 3 ! 射线能量色散谱分析仪的原理和特点 扫描电镜是聚焦电子束在试样表面逐点扫描成 在