带能谱分析的电子显微镜在材料分析中的应用97739.pdfVIP

维普资讯 工艺与检测TeChn010gyand 带能谱分析的扫描电子显微镜在材料分析中的应用 王英姿 侯宪钦 (济南大学材料科学与工程学院，山东 济南250022) 摘 要 ：简要分析了扫描 电子显微镜和 X射线能量色散谱分析 的原理及特点。概述了带能谱分析的扫描 电 子显微镜的独特优点。然后借助扫描 电镜的能谱分析 。以难切削加工材料钛合金 (TC4)的切削刀具 磨损形貌和探求刀具材料成分组分为例，说明了带能谱分析的扫描 电镜在定点成分分析、线扫描和 面扫描方面的应用。最后总结了这种显微镜的应用范 围。 关键词：扫描电镜 能谱分析 钛合金 刀具材料 ApplicationofSEM withEDX inMaterialAnalysis WANG Yingzi，HOU Xianqin (SchoolofMaterialScienceandEngineering，ji’nanUniversity，ji’nan250022，CHN) Abstract：TheprinciplesandcharactersofSEM (scanningelectronmicroscope)andX—rayEDX (energydisper- sivemicroanalysis)arenaalyzedbrieflyinthepaper，andalsothespecialadvantagesofSEMwithEDX aresummarized，thenwiththehelpofEDX ofSEM andtakingwearappearna ceofcuttingtoolwhichwas usedtomachiningtitaniumalloys(TC4)andresearchingthecomponentofcuttingtoolmaterialforex— amples，theapplicationsofSEM withEDX onelementanalysisofspecial point，linescanningand sur- facescnaningareexplained．Atlast，thepapersumsuphterna geofapplicationsofthisSEM withEDX． Keywords：SEM ；EDX；Titna ium Alloys；CuttingTool 随着材料、医学、生物等学科的不断发展及计算机 微观形貌的扫描电子图像 ¨，4J。 技术的突飞猛进 ，早期单纯用于拍摄样 品试样形貌照 扫描电镜具有场深大、放大倍数范围大 (一般为 片的扫描电子显微镜 (以下简称扫描电镜／SEM)和进 20～200000倍)、不必经常对焦等特点，对于相组成 行成分测定的x射线能量色散谱分析仪(以下简称能 的非均匀材料便于低倍下普通和高倍下放大观察分 谱{~／EDX)显得越来越跟不上科学发展的潮流。而将 析 。它还具有相当的分辨率，可达 2～6nm，所成图像 能谱仪、扫描电镜及计算机技术结合为一体的带能谱 富有立体感、真实感、易于识别和解释。同时它的自由 分析的扫描电镜则会继续在材料、医学、生物等学科领 度大，可对试样作三维移动，试样制作简单，表面无需 域发挥其不可代替的作用。 进行特别处理。 1 扫描电镜的原理和特点 2 X射线能量色散谱分析仪的原理和特点 扫描电镜是聚焦 电子束在试样表面逐点扫描成 在高能量电子束照射下，样品原子受激发就会产 像。由电子枪发射出的电子束，在加速电压的作用下， 生特征 x射线，不同元素所产生的x射线一般都不 经过电磁透