平面工艺制作的定向输出微腔.pdfVIP

特别报道 激光器 平面工艺制作 的定 向输 出微腔半导体激光器 和 , , 区 光学微腔 中 极子 发 空 间 频 调 能 现 发辐 增 强或抑 效应 而且 有 源 积 可 偶 自 辐射 受到 谱 制 实 自 射 制 其 体 以非常小 , 有 利于极 低 阂值工作 和极 高 的调 制 速 率 。 在 过 去 的二 十 多年 、 来 , 垂 直腔 面 发射激 光 器 回音壁 模 式 一 微 腔激 光器 以及 光子 晶体微腔激光器 三类光学微腔激光 器 的研 究取得 了很 大 的 进 展 。 回音 壁模 微腔 , 由于 在微腔 界面 的人 大于全反 式 中 模式光线 其 射 角 射 临界角而受 到 限制 , 是一种结构非 常简单 的光学微腔 。 微 盘激光器作 型 回 , 为典 的 音 壁模式微 腔激 光 器 可利 用普通 的边 发射 激 光 器外延 片材 料 , 采用半导体平 面工 艺制作 , 引起 了人们很 大 的重 视 。 但 圆对称 结构 的 微盘激光器 易于实现 回音壁模式 的全反 射 限制 , 却难 以得 到定 向的激光