负载刚度对电热微执行器输出性能影响分析.pdfVIP

第 27 卷 　第 1 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 27 　No . 1 2006 年 1 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S J an . ,2006 负载刚度对电热微执行器输出性能的影响分析 高建忠 　赵玉龙 　蒋庄德 　杨 　静 ( 西安交通大学精密工程研究所 , 西安交通大学机械系统工程国家重点实验室 , 西安 　7 10049) 摘要 : 针对微机电系统中电热微执行器和位移放大机构都具有柔性的事实 ,从理论上分析了作为负载系统的柔性 位移放大机构对微执行器输出位移的影响 ,并用有限元方法对二者的工作性能进行了仿真. 结果表明 , 电热微执行 器外接负载的刚度和执行器本身刚度的比值是影响整个组合器件性能的重要因素. 最后用深层反应离子刻蚀技术 ( ) ( ) DR IE 在硅隔离衬底 SO I 上加工了电热微执行器和柔性位移放大机构 ,并对其进行了测试 ,测试结果与有限元 分析结果符合得很好. 关键词 : 微机电系统 ; 微执行器 ; 柔性机构 ; 深刻蚀 PACC : 07 10C ; 4600 中图分类号 : TN 304 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2006) 0 10 16206 器和柔性位移放大机构 ,并对其进行了测试 ,给出了 1 　引言 仿真和测试结果. 电热微执行器具有输出力大 、工作电压低 、结构 2 　理论分析 简单 、易于用微制造技术加工等优点[ 1 ,2 ] ,在微机电 ( ) [2～5 ] 系统 M EM S 中得到了广泛应用 . 但是 ,微执行 [ 6 ] 2 . 1 　电热微执行器分析 器的输出位移一般都比较小 , 因此往往需要通过 放大机构对其位移进行放大. 在实际应用中出现了 微机 电系统中应用的电热微执行器有多种形 多种形式的输出位移放大机构 ,如齿轮机构[7 ] 、直线 式 ,如蛇形梁 、双梁不对称结构 、V 型梁结构 、冲击结 [2 ] [ 11 ] 电机 等. 近来 ,柔性微杠杆机构作为一种位移放大 构等 . 其中V 型梁形式的热执行器输出力大 ,而 机构得到了重视[ 8 ] . 且不存在“冷臂”, 比非对称形式的热执行器[ 12 ] 效率 柔性杠杆机构是一种依靠机构中柔性梁的弹性 高. 同时 ,这种热执行器结构简单 ,可以组成阵列来 ( ) [ 13 ] 变形 拉伸 、压缩以及弯曲 来传递位移和力的器件 , 增加输出力 . 具有无摩擦 、不需润滑 、无迟滞 、不需要维护等优 V 型梁结构的电热执行器结构如图 1 所示. 当 点[9 ] . 而且 ,这种机构可以制造成平面结构 ,适合用 在两个固定的锚定点间施加电压时 ,V 型梁中会有 M EM S 工艺与微执行器集成