连接式微摩擦测试机构及设计.pdfVIP

清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期 !# $%%%%%’( - .*%% ( ’ $%,+’ )# $$***+,# - .=*%%= B(= B’ (’(C /012345678329 :2; 0:5 ?@A #@ 连接式微摩擦测试机构及设计 郭占社 孟永钢 苏才钧 吴 昊 温诗铸 = = = = 清华大学 精密仪器与机械学系 摩擦学国家重点实验室 北京 - = = $%%%C(. 摘 要 为了能够比较真实地模拟微机电器件侧面摩擦副 此 找到合适的 能真实反映微机电器件摩擦磨损状 D = ; 之间的摩擦磨损状况 进而对 器件的摩擦学规律进 ! #$ 况的测试方法更成为当务之急K 行研究 设计了一种基于单晶硅材料的片上微摩擦测试机 ! 近年来 国内外微摩擦磨损测试主要还是利用 = 构 利用微机械体硅工艺及键合技术 把系统中的测试机构 % ! 原子力显微镜*= 由于原子力显微镜测试的是探针 K 加载机构以及力传感器集成在一个单一的芯片上 对结构的 % 针尖与表面之间的相互作用 其摩擦工况与微机电 = 临界驱动电压 静态摩擦力及正压力进行了理论推导 最后 % ! 系统中运动副之间的实际接触状况存在很大的差 在显微镜下对该机构的静态摩擦因数进行了测试 测试结果 % 异 测试结果并不能反映微机电系统的真实摩擦磨 表明 随着施加在摩擦副上的正压力的增加 摩擦因数相应 = ’ ! 损状况 而一些利用专用微摩擦测试设备进行测试 减小% K 的报道+=(= 虽然能较好地模拟微机电器件的真实接 关键词 摩擦磨损 微摩擦测试机构 体硅工艺 键合技 D ( ( ( 触情况 但其研究对象主要侧重于材料的上表面 对 术 静摩擦因数 = = (