TiN涂层应用及的研究进展.pdfVIP

第 卷第 期 广东工业大学学报 267(!! +6(! !! ! 年 月 !, ’ !#$%’ ( )#%*+%* ,%-./$0-12 ( 3/45%’*2 89:; !, )*+ 涂层应用及研究进展 何玉定，胡社军，谢光荣 （广东工业大学材料与能源学院，广东广州 ） ,%’-# 摘要：综述了近年来 涂层的应用，以及为改善 涂层性能而进行的多元合金化、多层涂层方面 )*+ )*+ 的研究工作，并指出了 涂层的发展方向 )*+ ( 关键词： 涂层；多元涂层；多层涂层；耐磨性 )*+ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ).%/-( 0 %/$/%’! !, !$#%$’ )*+ 是一种高硬度、耐磨蚀、应用广泛的涂层材料，已成为国内外硬质涂层研究的热点( )*+ 开始应用于切削工具工业涂层，但最近它的应用已扩展到其它领域，如摩擦（轴承和齿轮）、装饰 和光学领域，以及微电子学领域 目前常用的制备 的 方法有阴极电弧法、溅射法等 ( )*+ 123 ( 由于 的柱状晶结构及在空气中使用时在 以上抗氧化能力变差，仍限制了它的应用领 )*+ ,4 域 国内外在消除柱状晶结构及改善高温抗剥离、抗氧化方面进行了大量的研究工作，主要方 ( 法有合金法、多层膜共沉积法 本文拟综述 的应用及改性方面的研究成果 ( )*+ ( % )*+ 涂层的应用 %(% 机械工业 )*+ 是低速切削工具理想的涂层材料，可以减轻切削刃边材料的附着，降低切削力，增大进 刀量，提高加工精度，维持切削几何的稳定，改善工件的表面质量 此外， 也是磨损部件的理 ( )*+ 想涂层，特别是由于其低的粘着倾向 拓宽了在许多磨损系统中的应用( 因 此)*+ 广泛应用于成形技术工具涂 层，例如汽车工业中薄板成形工具的 涂层( 由于 涂层具有硬度高、耐腐 )*+ 蚀、不粘性好、化学稳定性好和摩擦系 数低等优良性能，大大改善了工模具 的工艺性能和使用性能( 对于反应溅射沉积 )* 5 + 系涂 层，形成的相取决于基材的温度 图 ( % ［］ 为一亚稳态的)* 5 + 系相图% ，溅射 图% )*$+ 系亚稳的123 相图 收稿日期： !#$#$#% 作者简介：何玉定（%’’$），男，副教授，主要研究方向为硬质膜、功能膜( 广东工业大学学报 第 卷 +’ ’’