超磁致伸缩微位移致动器研究.pdfVIP

超磁致伸缩微位移致动器的研究 张俊玲，吴健 电子科技大学光电信息学院，四川成都（610054 ） E-mail ：fanqiehua1982@ 摘 要：本文首先介绍了稀土超磁致伸缩材料及其性能特点；其次分析了稀土超磁致伸缩材 料的特性方程，介绍自行研制的微位移致动器的结构及优化措施，计算了致动器的工作频率， 最后对材料特性进行测试并对实验结果进行分析。实验结果表明所设计的微致动器在低频下 具有理想的时实控制效果。 关键词：超磁致伸缩材料（GMM ），微致动器，设计 中图分类号：TN16 1. 引言 超磁致伸缩材料是国外八十年代末新开发的新型功能材料，主要是指稀土-铁系金属间 化合物。这类材料具有比铁、镍等大得多的磁致伸缩值，其磁致伸缩系数比一般磁致伸缩材 料高约 2 3 10 ~ 10 倍，因此被称为大或超磁致伸缩材料；并且机械响应快、功率密度高。在 所有商品材料中，稀土超磁致伸缩材料是在物理作用下应变值最高、能量最大的材料。特别 是铽镝铁磁致伸缩合金(Terfenol-D) 的研制成功，更是开辟了磁致伸缩材料的新时代。 Terfenol-D 是 70 年代才发现的新型材料，其合金中有一半成份为铽和镝，其余为铁。该合 金由美国依阿华州阿姆斯实验室首先研制成功。当置 Terfenol-D 于一个磁场中时，其尺寸的 变化比一般磁性材料变化大。 Terfenol-D 与传统电致伸缩材料相比有很多优点。表 1 列出了 Terfenol-D 和电致(压电陶 瓷)材料性能。 表 1 Terfenol-D 和电致(压电陶瓷)材料性能对比 从表中可看出，超磁致伸缩材料有很多的性能优势。Terfenol-D 具有比传统的磁致伸缩 材料和压电陶瓷高几十倍的伸缩性能:比电致伸缩材料具有更大的应变和更宽的适用温度范 围，并且可靠性高、响应频带宽、响应速度快[1] 。 2. 基于超磁致伸缩材料的微位移致动器 -1- 传统的电致伸缩致动器，伸缩量小、输出力小、反应慢，须高电压驱动、设计复杂，不 能满足高新技术迅速发展的需要．而超磁致伸缩精密致动器不仅能克服上述电磁致伸缩致动 器的缺点，而且其电/机转换效率具有其他材料无法比拟的优势，用 GMM 精密致动器[2]， 精确度可达到纳米级，响应速度快，输出力大，工作电压低，只需几伏至几十伏，设计相对 简单。 目前国产超磁致伸缩材料(GMM)的性能已接近国外同类材料水平,其饱和磁致伸缩系数 最佳值可达2400 ×10−6 [3] 。本研究采用的是兰州天星集团生产的超磁致伸缩材料，对用该 材料制作的微位移致动器的输出特性进行研究,对发展我国该类驱动器及其相关新型器件与 系统具有实际意义。 2.1 超磁致伸缩材料致动器的特性方程 超磁致伸缩材料微致动器主要利用 GMM 棒轴向磁致伸缩效应。GMM 棒在外加励磁磁 场作用下产生应变和应力,其宏观表现为轴向位移和力的输出。GMM 棒内部长度方向应变 ε 和棒内长度方向磁感应强度B 满足[4] 33 33 ε S H T =+d H 33 33 33 33 3 （1 ） T B33 d33T33 =+µ33 H3