新型SI3X3多模干涉波导光开关优化设计O基.pdfVIP

光 学 学 报 VO1．25，NO．9 第 25卷 第 9期 2005年 9月 ACTA OPTICA SINICA September，2005 文章编号：0253—2239(2005)09—12086 新型 SOI基 3X3多模干涉波导光开关的优化设计 贾晓玲 高 凡 张 峰 (巾国科学 院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室 ，上海 200050) 摘要 ： 提 出了一种基于 SOl材料的新型 3×3多模干涉 (MMI)波导光开关 ，在开关 的多模波导巾引入折射率调制 区，利用硅 的等离子色散效应改变多模波导局部 区域 的折射率 ，使得光场在传输过程 中的相位发生变化，进而确定 输 出光场位置 ，实现开关功能。采用有限差分光束传播法(FD-BPM)方法对开关的各个状态进行 了模拟和分析 。并 对器件的结构参量进行了优化设计，采用优化后的结构参量，开关可实现的最大消光比达到一l7．27dB。 关键词 ： 集成光学 ；多模干涉耦合器 ；光开关 ；SOl；全光