液相外延HgCdTe薄膜组分均匀性对红外透射光谱影响.pdfVIP

第 26 卷 　第 5 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 5 2005 年 5 月 　　 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S 　　May ,2005 液相外延 HgCdTe 薄膜组分均匀性 对红外透射光谱的影响 王庆学 　魏彦锋 　杨建荣 　何 　力 中国科学院上海技术物理研究所 半导体材料与器件研究中心 , 上海 　200083 摘要 : 用多层模型和膜系传递矩阵计算了 HgCd Te/ CdZn Te 外延薄膜的红外透射光谱 ,结果表明组分扩散区主要 影响透射光谱的干涉条纹和透射率小于 10 %的区域 ,而组分梯度区则影响吸收边斜率. 横向组分波动也将影响透 射光谱的吸收边斜率 ,当组分均方差小于 0005 时 ,横向组分波动对透射光谱影响可以忽略. 用新的组分分布模型 计算了 HgCd Te/ CdZ