阶梯型纳米孔径近场光学局域增强特性的研究.pdfVIP

第 24卷 第 1O期 光 学 学 报 Vo1．24，No．10 2004年 1O月 ACTA OPTICA SINICA October，2004 文章编号 ：0253—2239(2004)10—1381—7 阶梯型纳米孔径的近场光学局域增强特性研究* 许吉英 王 佳 田芊 (清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室，北京 100084) 摘要： 提出一种高分辨力与高通光效率兼备的阶梯型纳米孑L径设计方法，孑L径的尺寸从膜层的入射表面向出射 表面呈阶梯型逐渐减小，直到在膜层的出射表面形成一个亚波长的小孑L。采用三维时域有限差分 (FDTD)方法对 方形阶梯型纳米孑L径及三角形阶梯型纳米孑L径进行 了数值模拟计算。结果表明，由于近场光学很强的局域场增强 效应 ，其通光效率与输出光强极大值在具有相 同近场光斑尺寸情况下，较普通的非阶梯型纳米孑L径提高了两个数 量级 ，甚至更高，有效地提高了输出光功率。采用四台阶三角形阶梯 型纳米孑L径，当光 斑半峰全 宽为 97am× 74nm时，出射光强极大值达到 1049．76，较入射光增强了1000倍 ，而通光效率大于 1，达到 1．67。这种阶梯型纳米 孔径可以直接作为纳米孑L径激光器的出射孔径提高其输出光功率 ，也可以作为独立的光学屏对入射光进行整形得 到具有高输出功率的亚波长尺度光源，在纳米尺度光学成像 、光谱探测、数据存储 、光刻、光学操作等近场光学应用 领域具有潜在的应用前景。 关键词 ： 光学器件 ；阶梯型纳米孑L径 ；时域有限差分方法 ；近场光学；纳米孑L径激光器 中图分类号 ：TN242 文献标识码 ：A ResearchonNear．FieldLocalEnhancementProperties ofStep·ShapedNano·Aperture XuJiying WangJia TianQian (StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyandInstruments， DepartmentofPrecisionInstruments，TsinghuaUniversity，Bering100084) (Received21August2003；Revised26December2003) Abstract： A novelkind ofstep—shaped nano-aperture with high resolution and high power throughputisproposed．Thestep-shapednano—aperturessizeisgraduallyreducedfrom theincident surface totheexitsurfaceuntilasub-wavelengthapertureisformedontheexitsurface．Thestep— shapedsquareapertureandthe step—shapedtriangleaperturehavebeen numerically simulatedby themethodof3-D finite—differencetime．domain (FDTD)．Thecalculationresultsrevealthatthe lightintensitypeakandthepowerthroughputofthe step—shapedapertureare increasedby about 100 timesormoreincomparisonwith thoseoftheordinarynon··step·s·hapednano·a·perturewitha comparablelightspot