GaAs MMIC用无源元件模型.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２７ １０ 犞狅犾．２７ 犖狅．１０ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００６ １０ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犗犮狋．２００６ 犌犪犃狊犕犕犐犆用无源元件的模型  申华军 陈延湖 严北平 杨 威 葛 霁 王显泰 刘新宇 吴德馨 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （中国科学院微电子研究所，北京 １０００２９） 　 摘要：制作了不同结构参数的 无源元件，包括矩形螺旋电感、 电容和薄膜电阻，建立了无源元 犌犪犃狊犕犕犐犆 犕犐犕 件的等效电路模型库，采用多项式公式表征无源元件的模型参数和性能参数，便于电路设计的应用 并提取得到 ． ２ 电容的单位面积电容值，约为 ／ ， 薄膜电阻的方块电阻约为 ／ 分析结构参数对螺旋 犕犐犕 １９５犉犿犿 犖犻犆狉 １６１ ． 狆 Ω □ 电感性能的影响可知，减小线圈面积相关的寄生损耗有助于获得高品质的电感． 关键词：犕犕犐犆；矩形螺旋电感；犕犐犕电容；薄膜电阻；多项式拟合公式 ： ； 犈犈犃犆犆 ２１００ ２５６０犅 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖３０３ 犃 ０２５３４１７７２００６１０１８７２０８ 　　　 　　　 电阻为溅射 犖犻犆狉薄膜电阻，电阻方块的数目分别 引言 为 ，， 和 个 工艺过程为 标准工艺， １ ０４１２ ４ ． 犕犕犐犆 　 包括生长底层隔离介质，溅射 犖犻犆狉电阻薄膜，电子 现代无线通信系统快速发展， （射频集成 束蒸发底层金属 ／ ，生长隔离和电容介质 犚犉犐犆狊 犜犻犃狌 电路）和 （单片微波集成电路）被大量采用， ，并 刻蚀出接触孔，电镀空气桥并加厚电 犕犕犐犆狊 犛犻犖 犚犐犈 ３ ４ 其中无源元件螺旋电感、