集成电路设计课程试卷 C卷.pdfVIP

2008 级 集成电路设计 课程试题（C卷） 题号 总分 分数 合分人： 复查人： 说明：1．将须计入总分的题号填入总分栏。只能填 10 题！ 2．总共 12 题，可以做超过 10 个考题，但多余部分不计入总分。 分数 评卷人 一、分析、计算、设计：（10 分） 试解释什么是集成电路，特征线宽，IP，晶圆代工厂等概念。 答： 共 12 页 第 1 页 分数 评卷人 二、分析、计算、设计：（10 分） 试简要介绍液封直拉系统的各重要部件： 共 12 页 第 2 页 分数 评卷人 三、分析、计算、设计：（10 分） 试画分析扩散中的填隙扩散机制。 共 12 页 第 3 页 分数 评卷人 四、分析、计算、设计：（10 分） 质量分析器的实现原理与基本结构。 共 12 页 第 4 页 分数 评卷人 五、分析、计算、设计：（10 分） 试简要介绍你所知道或掌握的测试 SiO 薄膜的方法，两种以上。 2 共 12 页 第 5 页 分数 评卷人 六、分析、计算、设计：（10 分） 改善反应腔热不均匀性的设计思路 共 12 页 第 6 页 分数 评卷人 七、分析、计算、设计：（10 分） 什么是版图设计规则？详细介绍之。 共 12 页 第 7 页 分数 评卷人 八、分析、计算、设计：（10 分） 分步重复投影对准机是现代光刻机的主流产品，它与接近式/接触式光刻机的特征区别。 答： 共 12 页 第 8 页 分数 评卷人 九、分析、计算、设计：（10 分） 光学光刻的光源照明方式都有哪些，从其发展趋势，试分析体会半导体加工发展的什么规 律？ 共 12 页 第 9 页 分数 评卷人 十、分析、计算、设计：（10 分） 为了实现纳米压印技术的连续加工，有人提出转轴纳米压印技术，并被国内多家研究机构 视为革命性突破，见图