低Al组分In1-x Alx Sb薄膜的MBE生长和优化.pdfVIP

第４４卷　 第１０期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ４４，Ｎｏ１０ 　 ２０１４年１０月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｏｃｔｏｂｅｒ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）１０１１１５０４ ·红外材料与器件 · 低 Ａｌ组分 Ｉｎ Ａｌ Ｓｂ薄膜的ＭＢＥ 生长和优化 １ －ｘ ｘ 尚林涛，刘　铭，邢伟荣，周　朋，沈宝玉 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：采用分子束外延的方法进行了低Ａｌ 组分Ｉｎ Ａｌ Ｓｂ 薄膜的生长和优化。通过在