具有_荷叶效应_硅基仿生表面制备及微摩擦性能.pdfVIP

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2017-08-30 发布于安徽
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具有_荷叶效应_硅基仿生表面制备及微摩擦性能.pdf

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8 4 Vol ． 8 No ． 4 第卷第期纳米技术与精密工程 8 4 · · 纳米技术与精密工程第卷第期 20 10 7 Nanotechnology and Precision Engineering Jul ． 20 10 年月 “ ” 具有荷叶效应的硅基仿生表面的制备及其微摩擦性能 1 1 2 ，，范细秋赵晓栋张鸿海 (1．， 3 16000 ;2 ．， 430074 ) 浙江海洋学院机电工程学院舟山华中科技大学微系统中心武汉 : (scanning electron microscope ，SEM ) ， 10 摘要用扫描电子显微镜观测了荷叶表面的双微观结构即特征尺度在 m 50 ～ 100 nm ． “ ” μ 左右的微米乳突和直径为的纳米蜡质晶体提出了制备具有荷叶效应的硅基仿生表面的两种方， 100 nm ，，法一是将表面制有特征尺度为左右纳米结构的硅片进行硅烷化疏水处理仅制作了纳米结构部分模拟 “ ”; 10 m (AKD) 了荷叶效应另一种方法是将表面制有特征尺度为 μ 左右微米结构的硅片进行烷基烯酮二聚体化，， “ ”．处理该方法获得了具有双微观结构的仿生表面比较完整地模拟了荷叶效应微摩擦性能测试结果表明光滑硅 0. 08 ～ 0. 10 ， 120 nm ～ 25 m 0. 04 ～ 0. 07 ; 片微观摩擦系数为而具有 μ 微结构的硅片微观摩擦系数为