MEMS系统级仿真建模理论与方法研究.pdfVIP

第 40 卷　第 2 期 . 40　 . 2 ( ) V o l N o 厦门大学学报 自然科学版 　2001 年 3 月 ( ) M ar. 2001　 Jou rnal of X iam en U n iversity N atu ral Science 文章编号:(2001) M EM S 系统级仿真建模理论与方法的研究 孙道恒, 黄元庆, 郑　炜, 朱立秒, 李文望 ( 厦门大学机电工程系, 福建 厦门　361005) 摘要: 实现集设计、加工及运行等整个过程的计算机仿真为一体的微机电系统的计算机辅助设计