用于多频振动MEMS复合式能量采集器设计.pdfVIP

第 l7卷 第 6期 光学 精密工程 Vo1．17 NO．6 2009年 6月 OpticsandPrecisionEngineering Jun．2009 文章编号 1004—924X(2009)06—1367—06 用于多频振动的MEMS复合式能量采集器的设计 任 婧，陈旭远 (厦门大学萨本栋微机电研究中心，福建 厦门361005) 摘要 ：设计 、模拟 了一款用于多频振动的MEMS复合式能量采集器 ，提 出了一种新颖 的能量采集结构 ，即将压电式悬臂 梁和可变 电容器结合起来用于多频振动能量 的采集 。在建立多频振动能量采集系统分析模型的基础上 ，使用 MatLab／ SIMULINK的数值模拟 ，预测了功率输出。模拟结果显示 ，该结构可在 630～655Hz有效工作 ，在负载为 50kg)时 ，输 出功率可达 13．46 w 。基于这个结果 ，给 出了一个优化设计方案 ，同时为 了防止结构失效，对结构进行 了有限元仿真分 析 。仿真分析结果显示 了良好 的预期性能，说 明了该设计指导思想的合理性和先进性 。 关 键 词 ：振 动能量采集 ；复合 式采集器 ；多频 能量采集 ；微机 电系统 中图分类号 ：TN384：TN712 文献标识码 ：A Design ofM EM S hybridenergygenerator formulti—frequencyvibration RENJing，CHEN Xu—yuan (Pen-TungSahM EM SResearchCenter，XiamenUniversity，Xiamen，361005China) Abstract：Thedesign，modelingandsimulation ofanovelM EMS hybridenergygeneratorformulti— frequencyvibrationispresented to meettherequirementsofportableandwirelesselectronicdevices forcollectingenergyfrom theambientenvironment．Inthisdesign，piezoelectriccantileverbeamsand capacitorsarecombinedforharvestingthehybridvibrationenergy．Then，ananalyticalmodelisestab— lishedforthemulti—frequencyvibrationenergyharvestingsystem andanumericalsimulationmethodis usedtopredictthepoweroutputbyusingaMatLab／SIMULINK．Theresultshowsthatthestructure canworkefficientlyinthefrequencyrangesof630——655 Hz，andthepoweroutputcan reach about l3．46 “W withaloadresistanceof50kn．Basedontheresult，anoptimizedmulti—frequency hybrid energyharvesterisdesigned in thispaper． In addition，theFiniteElementAnalysis (FEA)ofthe structureiscarriedouttopreventthestructurefailure．Thework implementedbythispapershows thatthenextgenerationdesignwithawiderfrequencyrangeandahigherpoweroutputwithinasmal— lerstructurevolumeisexpectant． Keywords：vibrationenergyharvesti