培训系列之13(巴德纯)：真空设备自动化控制.docVIP

本文由luochen262贡献 ppt文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 真空技术讲义 真空设备的自动化控制 巴德纯 CVD镀膜机自动化控制 CVD镀膜机自动化控制 实例 1 真空感应电炉自动化控制 2 CVD真空镀膜机自动化控制 真空镀膜机自动化控制 3 等离子体诊断 Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 真空感应CVI/CVD系统 真空感应CVI/CVD系统 CVI/CVD 分布式自动化控制技术研究 王 庆 东北大学真空与流体工程研究中心 Tel Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China 1 课题的提出及研究的意义 1.1 课题的提出 真空感应炉是生产镍基高温合金、钛合金、不锈钢、 a. 真空感应炉是生产镍基高温合金、钛合金、不锈钢、 超高强度钢等特种合金材料的重要冶炼设备。 超高强度钢等特种合金材料的重要冶炼设备。自动 控制系统是真空感应炉的一个重要组成部分，