直线电机驱动H型气浮导轨运动平台.pdfVIP

第 15 卷 　第 10 期 　 光学 精密工程 Vol . 15 　No . 10 2007 年 10 月 　 　 　　　　　　　 　Op tics and Preci sion Engineering 　　 　　　　　　　 Oct . 2007 ( ) 文章编号 　1004924X 2007 直线电机驱动的 H 型气浮导轨运动平台 1 2 刘 　强 ,张从鹏 ( 1. 北京航空航天大学 机械工程及自动化学院 , 北京 100083 ;2 . 北方工业大学 机电工程学院 ,北京 10004 1) 摘要 :建立了双边直线电机驱动的 H 型气浮精密定位平台 ,对该精密定位系统的气浮导轨设计方法和双边直线电机同 步运动控制等关键技术进行了研究