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· 46· GeneraJReviewJ综 述 基于MEMS的微泵研究现状与进展 赵 安 ．种银保 [摘要】 微泵是微机 电系统(MEMS)中重要的执行器件，在多个学科中发挥着重要作用。根据微泵的驱动方式，综述了 近年国内外 出现的各种机械式和非机械式微泵的原理和相应的性能，并简要总结 了微泵选型需要注意的主要指标 ， 对其应用前景进行 了展望。 关【键词】微泵；微电子机械系统；机械式；非机械式 [中图图书资料分类号J TH777 [文献标志码】A 文【章编号】 1003—8868(2010)02-0046-04 InvestigationProgressReview ofM icropumpBasedonM EMS ZHAO An，ZHONC Yin—bao (MedicalEquipmentDepartmentofXinqiaoHospital，theThirdMilitaryMedicalUn